原來如此！AR 鍍膜減反射工藝的關(guān)鍵制備流程大公開

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上海卷柔新技術(shù)光電有限公司是一家專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)光學(xué)儀器及其零配件的高科技企業(yè)，公司2005年成立在上海閔行零號灣創(chuàng)業(yè)園區(qū)，專業(yè)的光電鍍膜公司，技術(shù)背景依托中國科學(xué)院，卷柔產(chǎn)品主要涉及光學(xué)儀器及其零配件的研發(fā)和加工；光學(xué)透鏡、反射鏡、棱鏡，平板顯示，安防監(jiān)控等光學(xué)鍍膜產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)，為全球客戶提供上等的產(chǎn)品和服務(wù)。

摘要：本文詳細(xì)闡述 AR 鍍膜減反射工藝的關(guān)鍵制備流程，從基片預(yù)處理的清洗、拋光，到鍍膜過程的物**相沉積、化學(xué)氣相沉積等核心技術(shù)，再到后處理的退火與質(zhì)量檢測，結(jié)合技術(shù)原理與實(shí)際應(yīng)用案例，系統(tǒng)展示各流程對實(shí)現(xiàn)高效減反射性能的重要作用，為相關(guān)領(lǐng)域人員提供**技術(shù)參考。

關(guān)鍵詞：AR 鍍膜；減反射；制備流程；物**相沉積；化學(xué)氣相沉積

在智能手機(jī)、相機(jī)鏡頭、太陽能板等產(chǎn)品中，AR 鍍膜減反射工藝讓我們享受更清晰的視覺體驗(yàn)和更高的能量轉(zhuǎn)換效率。這項(xiàng)神奇工藝背后，是一系列精密復(fù)雜的制備流程。今天，就為大家揭開 AR 鍍膜減反射工藝關(guān)鍵制備流程的神秘面紗。

一、基片預(yù)處理：打造**基底

基片預(yù)處理是 AR 鍍膜的首要環(huán)節(jié)，如同建造高樓的地基，決定著*終鍍膜效果的好壞，主要包括清洗和拋光兩大步驟。

（一）清洗：去除雜質(zhì)，保障結(jié)合力

基片表面往往附著灰塵、油污、指紋等雜質(zhì)，若不徹底**，會(huì)影響鍍膜層與基片的結(jié)合，導(dǎo)致膜層脫落、氣泡等問題 。常見的清洗方法各有優(yōu)勢。

超聲波清洗利用超聲波在液體中產(chǎn)生的空化效應(yīng)，產(chǎn)生強(qiáng)大沖擊力，將基片表面雜質(zhì)震落 。在清洗手機(jī)屏幕玻璃基片時(shí)，超聲波能快速**表面灰塵和指紋。等離子清洗則通過等離子體中的活性粒子與雜質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，同時(shí)利用離子轟擊，實(shí)現(xiàn)深度清潔和表面活化 。這種清洗方式不僅能去除頑固雜質(zhì)，還能提高基片表面的親水性，增強(qiáng)鍍膜層附著力。化學(xué)溶液清洗依靠特定化學(xué)試劑與雜質(zhì)反應(yīng)，將其溶解或轉(zhuǎn)化為易去除物質(zhì) 。清洗光學(xué)鏡片基片時(shí)，專用光學(xué)清洗劑可有效去除表面氧化物和油脂。

（二）拋光：降低粗糙度，優(yōu)化光學(xué)性能

拋光的目的是降低基片表面粗糙度，使表面更加平整光滑，減少光散射和反射異常 。對于高精度光學(xué)元件，如相機(jī)鏡頭、望遠(yuǎn)鏡鏡片的基片，拋光要求極高。

磁流變拋光利用磁流變液在磁場作用下的流變特性，形成 “柔性固著磨具”，可精準(zhǔn)去除基片表面凸起部分，將表面粗糙度降低到納米級 。離子束拋光通過高能離子束轟擊基片表面，以物理濺射方式實(shí)現(xiàn)超精密拋光 。這種方法能**控制拋光量，確保基片表面平整度，為后續(xù)鍍膜提供理想基底 。

二、鍍膜過程：核心工藝實(shí)現(xiàn)減反射

鍍膜過程是 AR 鍍膜減反射工藝的核心，通過不同技術(shù)將鍍膜材料沉積在基片上，形成具有減反射功能的膜層。目前常用的鍍膜方法主要有物**相沉積、化學(xué)氣相沉積等。

（一）物**相沉積（PVD）

1. 真空蒸發(fā)鍍膜

   ：真空蒸發(fā)鍍膜是 PVD 的傳統(tǒng)方法。將鍍膜材料（如二氧化硅）放入真空室內(nèi)的蒸發(fā)源，加熱至蒸發(fā)溫度，材料變?yōu)闅鈶B(tài)原子或分子 。這些氣態(tài)粒子在真空中自由飛行，遇到基片后沉積形成薄膜 。通過控制蒸發(fā)時(shí)間和速率，可以**控制膜層厚度 。在制備簡單單層 AR 膜時(shí)，常采用此方法 。

1. 濺射鍍膜

   ：濺射鍍膜利用高能離子束轟擊靶材，使靶材原子或分子濺射出來，沉積到基片上形成薄膜 。與真空蒸發(fā)鍍膜相比，濺射鍍膜的膜層均勻性更好、附著力更強(qiáng)，可鍍材料更廣泛 。在制備多層 AR 膜（如相機(jī)鏡頭多層膜）時(shí)，常采用磁控濺射技術(shù) 。通過**控制濺射功率、氣體流量、基片溫度等參數(shù)，可將不同材料（如二氧化硅、氧化鈦）依次沉積，形成具有特定厚度和折射率分布的多層膜系，實(shí)現(xiàn)寬光譜范圍內(nèi)的低反射率 。

（二）化學(xué)氣相沉積（CVD）

化學(xué)氣相沉積是通過氣態(tài)反應(yīng)物在基片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)鍍膜層 。該方法的優(yōu)勢在于薄膜純度高、均勻性好，且可在較低溫度下沉積，適用于對溫度敏感的基片 。

在制備太陽能電池 AR 膜時(shí)，常采用 CVD 工藝 。以硅基太陽能電池為例，將硅烷（SiH?）和氨氣（NH?）等氣態(tài)反應(yīng)物通入反應(yīng)室，在加熱或等離子體激發(fā)條件下，反應(yīng)生成氮化硅（SiN?）薄膜沉積在電池表面 。氮化硅薄膜不僅具有良好的減反射效果，還能起到鈍化和保護(hù)太陽能電池的作用 。通過調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體流量、溫度、壓力等參數(shù)，可以**控制薄膜的成分、結(jié)構(gòu)和性能 。

（三）其他鍍膜技術(shù)

溶膠 - 凝膠法是將金屬醇鹽或無機(jī)鹽水解形成溶膠，然后通過浸漬、旋涂等方式將溶膠涂覆在基片表面，經(jīng)過干燥和熱處理后形成鍍膜層 。這種方法操作簡單、成本較低，適合大面積基片鍍膜 。在建筑玻璃 AR 膜的制備中，溶膠 - 凝膠法可快速、均勻地在玻璃表面形成鍍膜層，有效降低玻璃的反射率 。

原子層沉積（ALD）基于自限性化學(xué)反應(yīng)，能夠以原子級精度控制膜層生長 。它可以在復(fù)雜形狀基片（如 3D 打印微光學(xué)元件）表面實(shí)現(xiàn)均勻、保形的薄膜沉積 ，通過**調(diào)節(jié)反應(yīng)物的通入時(shí)間和次數(shù)，可制備出高精度的多層 AR 膜 。

三、后處理：完善性能，確保品質(zhì)

后處理是 AR 鍍膜減反射工藝的重要環(huán)節(jié)，主要包括退火和質(zhì)量檢測，對完善膜層性能、確保產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。

（一）退火：消除應(yīng)力，增強(qiáng)穩(wěn)定性

在鍍膜過程中，由于膜層與基片的熱膨脹系數(shù)差異以及薄膜內(nèi)部原子排列不規(guī)整，會(huì)產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力 。退火處理是將鍍膜后的基片在適當(dāng)溫度下加熱并保溫一段時(shí)間，然后緩慢冷卻 。這個(gè)過程可以使膜層中的原子獲得足夠的能量進(jìn)行擴(kuò)散和重新排列，從而消除內(nèi)應(yīng)力，提高膜層的致密性和附著力 。對建筑玻璃 AR 鍍膜進(jìn)行退火處理后，膜層與玻璃基底的結(jié)合更加牢固，在長期使用過程中不易出現(xiàn)脫落或性能衰退的現(xiàn)象 。

（二）質(zhì)量檢測：嚴(yán)格把關(guān)，保障品質(zhì)

質(zhì)量檢測是確保 AR 鍍膜性能達(dá)標(biāo)的關(guān)鍵步驟，包括光學(xué)性能測試、機(jī)械性能測試和環(huán)境穩(wěn)定性測試 。

光學(xué)性能測試主要檢測鍍膜層的反射率、透過率、光譜特性等指標(biāo) 。使用分光光度計(jì)可以測量不同波長下鍍膜層的反射率和透過率，通過分析光譜曲線，判斷鍍膜層是否達(dá)到設(shè)計(jì)要求 。例如，手機(jī)屏幕 AR 膜需要在可見光范圍內(nèi)反射率低于 1%，透過率高于 95% 。

機(jī)械性能測試包括檢測鍍膜層的硬度、耐磨性、附著力等 。通過劃痕測試可以評估鍍膜層的硬度和耐磨性，利用膠帶粘貼測試可以檢測鍍膜層的附著力 。

環(huán)境穩(wěn)定性測試則是模擬鍍膜層在實(shí)際使用環(huán)境中的情況，如高溫、高濕、紫外線照射等條件下的性能變化 。將 AR 鍍膜樣品放入高低溫濕熱試驗(yàn)箱中，在不同溫度和濕度條件下測試其光學(xué)性能和機(jī)械性能，確保鍍膜層在各種環(huán)境下都能保持良好的性能 。

從基片預(yù)處理的精心準(zhǔn)備，到鍍膜過程的核心工藝實(shí)施，再到后處理的嚴(yán)格把關(guān)，AR 鍍膜減反射工藝的每一個(gè)流程都凝聚著科研人員的智慧和技術(shù)的精華。正是這些關(guān)鍵制備流程的緊密配合，才讓 AR 鍍膜實(shí)現(xiàn)**的減反射性能，為我們帶來更上等的光學(xué)體驗(yàn) 。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，AR 鍍膜制備工藝也將持續(xù)優(yōu)化升級，未來必將創(chuàng)造更多驚喜 。

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  卷柔減反射(AR)玻璃的特點(diǎn):高透,膜層無色,膜硬度高,抗老化性強(qiáng)(耐候性強(qiáng)于玻璃),玻璃長期使用存放不發(fā)霉,且有一定的自潔效果.AR增透減反膜玻璃產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于**文博展示、低反射幕墻、廣告機(jī)玻璃、節(jié)能燈具蓋板玻璃、液晶顯示器保護(hù)玻璃等多行業(yè)。
    我們的愿景：卷柔讓光學(xué)更具價(jià)值！
    我們的使命：有光的地方就有卷柔新技術(shù)！
    我們的目標(biāo)：以高質(zhì)量的產(chǎn)品，優(yōu)惠的價(jià)格,貼心的服務(wù)，為客戶提供優(yōu)良的解決方案。
    上海卷柔科技以現(xiàn)代鍍膜技術(shù)為核心驅(qū)動(dòng)力，通過鍍膜設(shè)備、鍍膜加工、光學(xué)鍍膜產(chǎn)品服務(wù)于客戶，努力為客戶創(chuàng)造新的利潤空間和競爭優(yōu)勢，為中國的民族制造業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。